微纳加工技术
工业生产过程控制系统 先进制造工艺与装备
发布时间：2019-04-18 09:45 浏览量：486
发布内容
跨尺度模具开发：具有纳米、微米、宏观尺度任意结构材料及器件的精确制作的全套加工及检测方法。可实现多种材料（金属、有机高分子、低熔点玻璃等各类材质）的微纳结构器件的批量化制作方法，复制的形状误差可优于50nm。
工业生产过程控制系统 先进制造工艺与装备
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跨尺度模具开发：具有纳米、微米、宏观尺度任意结构材料及器件的精确制作的全套加工及检测方法。可实现多种材料（金属、有机高分子、低熔点玻璃等各类材质）的微纳结构器件的批量化制作方法，复制的形状误差可优于50nm。
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