本实用新型涉及旋涂技术领域，尤其涉及一种高速旋涂装置。

旋涂是旋转涂抹法的简称，主要的设备为匀胶机。旋涂法包括：配料，高速旋转，挥发成膜三个步骤，通过控制匀胶的时间，转速，滴液量以及所用溶液的浓度、粘度来控制成膜的厚度。电子工业中，基片垂直于自身表面的轴旋转，同时把液态涂覆材料涂覆在基片上的工艺。

旋涂(或称旋转涂覆)是依靠工件旋转时产生的离心力及重力作用，将落在工件上的涂料液滴全面流布于工件表面的涂覆过程。旋涂过程需要平稳、高转速，传统的机械装置，受轴承间隙、滚珠状态等因素的影响，导致旋转运动速度受限，并且稳定性不好。

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种能够提高转速，保持稳定性，增加耐久性的高速旋涂装置。

本实用新型提出的一种高速旋涂装置，包括工作台、主轴、气垫、电机主体和第一、二磁悬浮轴承，所述工作台固定在所述主轴的上端，所述气垫设置在所述工作台的下方且与所述工作台之间留有间隙，所述气垫的上端面上均匀间隔设有若干第一小孔，所述气垫的下端设有接气管，所述电机主体中的转子固定套设在所述主轴的中间部分，所述第一磁悬浮轴承设置在所述气垫和电机主体之间，所述主轴一次从所述第一磁悬浮轴承和电机主体中穿过，所述第二磁悬浮轴承设置在所述主轴的下端部分，所述主轴的下端穿设在所述第二磁悬浮轴承中，所述主轴与所述第一、二磁悬浮轴承之间均留有空隙。

进一步的，还包括支撑框架，所述第一、二磁悬浮轴承均固定在所述支撑框架上。

进一步的，所述工作台呈圆形，所述气垫呈圆柱形，所述气垫的中间设有供主轴穿过的通孔，所述通孔与所述主轴之间留有间隙，所述气垫放置在所述支撑框架上。

进一步的，所述主轴呈腾空设置在所述支撑框架中。

进一步的，所述气垫上固定有第一磁铁板，所述第一磁铁板上设有第二小孔，所述第二小孔与第一小孔的位置和尺寸均相同。

进一步的，所述工作台的底面固定有第二磁铁板，所述第一、二磁铁板呈磁性相斥设置。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：该高速旋涂装置通过使用磁悬浮轴承及气垫和第一、二磁铁板来托举工作台，通过电机主体的转子安装在主轴上，从而提供转动力，通过磁悬浮轴承与主轴不接触，旋涂机运转的时候由于运动部件之间没有机械接触，可以极大提高转速和保持稳定，增加耐久性。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

图1为本实用新型高速旋涂装置的结构示意图。

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

实施例：一种高速旋涂装置，包括工作台1、主轴2、气垫3、电机主体4和第一、二磁悬浮轴承5、6，所述工作台固定在所述主轴的上端，所述气垫设置在所述工作台的下方且与所述工作台之间留有间隙，所述气垫的上端面上均匀间隔设有若干第一小孔，所述气垫的下端设有接气管7，所述电机主体中的转子固定套设在所述主轴的中间部分，所述第一磁悬浮轴承设置在所述气垫和电机主体之间，所述主轴一次从所述第一磁悬浮轴承和电机主体中穿过，所述第二磁悬浮轴承设置在所述主轴的下端部分，所述主轴的下端穿设在所述第二磁悬浮轴承中，所述主轴与所述第一、二磁悬浮轴承之间均留有空隙。

还包括支撑框架8，所述第一、二磁悬浮轴承均固定在所述支撑框架上。

所述工作台呈圆形，所述气垫呈圆柱形，所述气垫的中间设有供主轴穿过的通孔，所述通孔与所述主轴之间留有间隙，所述气垫放置在所述支撑框架上。

所述主轴呈腾空设置在所述支撑框架中。

所述气垫上固定有第一磁铁板9，所述第一磁铁板上设有第二小孔11，所述第二小孔与第一小孔的位置和尺寸均相同。

所述工作台的底面固定有第二磁铁板10，所述第一、二磁铁板呈磁性相斥设置。

该高速旋涂装置通过使用磁悬浮轴承及气垫和第一、二磁铁板来托举工作台，通过电机主体的转子安装在主轴上，从而提供转动力，通过磁悬浮轴承与主轴不接触，旋涂机运转的时候由于运动部件之间没有机械接触，可以极大提高转速和保持稳定，增加耐久性。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。